ICP-MS GCMS~分子泵日常15點易發(fā)故障和解決方法

應(yīng)用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向活動而抽氣的真空泵。渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的映照，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能取得清潔的超高真空。渦輪分子泵普遍用于高能加速器、可控?zé)岷朔错懓惭b、重粒子加速器和高級電子器件制造等方面。

15點易發(fā)故障和解決方法如下：

 1、為什么分子泵是半熱半冷的？

  原因：附近有陽光或其他熱源

  解決方案：避免光或熱源

  2、分子泵使用過程中油變黑。 為什么油會變黑？ 或者油變黑需要多長時間？

  原因：散熱不好，負載過大

  解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)

  3、分子泵運行過程中，頻率從正常下降到一定頻率，然后恢復(fù)正常，再下降到一定頻率，再恢復(fù)正常，反復(fù)，更換后現(xiàn)象依舊 電源，是什么現(xiàn)象？ 解釋？

  原因：負載過大，系統(tǒng)真空度不夠

  解決方法：檢查系統(tǒng)

  4、分子泵軸承為什么會燒壞？

  原因： ① 缺乏定期維護 ② 冷卻不良導(dǎo)致過熱 ③ 未及時更換油 ④ 抽出的氣體中含有大量灰塵

  解決方法：①及時保養(yǎng) ②檢查冷卻系統(tǒng) ③及時換油 ④隔離灰塵

  5. 有了防護網(wǎng)的保護，為什么還有大塊的碎玻璃掉進泵里？

  原因：防護網(wǎng)壞了，前管路壞了

  解決方案：優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計

  6、真空度很好時，為什么分子泵油會回到前級管路？

  原因：油池破裂或密封不良

  解決方法：檢查油池

  7、在正常使用下，分子泵油池為什么會出現(xiàn)裂紋或變形？

  原因：過熱、重載

  解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查系統(tǒng)

  8、頂絲、螺絲等物件經(jīng)常掉出分子泵，如M5的頂絲。 是否影響分子泵的使用？ 如何解決？

  原因：應(yīng)該是偶爾的事情，可能是天平中漏掉了一個天平栓，對分子泵沒有影響。

  解決方法：應(yīng)該是偶爾的事情，可能是天平上少了天平釘，對分子泵沒有影響。

  9. 皮圈分子泵卡鉗用幾把，使用安全嗎？

  答：沒有特別限制，根據(jù)法蘭尺寸至少可以選擇3、3、6、12、24等

  10、逆變電源在什么情況下會造成程序丟失或混亂？

  答：①電壓不穩(wěn)定②強干擾③高壓點火④想解密

  11、如何定義分子泵的噪聲？ 有資格標(biāo)準(zhǔn)嗎？它是什么？

  答：72db以下合格，噪聲大小沒有明確定義，需要專用設(shè)備和特定的測試環(huán)境

  12、分子泵對冷卻有明確的要求嗎？ 空氣冷卻所需的外部溫度是多少？ 如果是水冷，對水的具體要求是什么？ 如果不滿足要求會有什么后果？

  A：注意水溫和水流。 冷卻不良會導(dǎo)致無端停機、泵壞、油變黑等。

  13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題。 最好的方法應(yīng)該是什么？

  答：電源本身有接地線，只要保證城網(wǎng)接地良好即可； 屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。

  14、變頻器電源在轉(zhuǎn)速上升時會自動關(guān)機，即顯示“Poff”？

  答：原因：電壓低

  15、分子泵葉片折斷是什么原因？

  答：分子泵轉(zhuǎn)子和定子壞的原因有很多，可以總結(jié)如下：

  ①、誤操作； 比如突然的真空破壞，因為轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間隙很小，如果葉片的材料比較薄或比較軟，突然的空氣阻力會導(dǎo)致葉片變形，可能會導(dǎo)致轉(zhuǎn)子和定子 要變形。 它們之間的摩擦，導(dǎo)致破損。

  ②、是異物掉入； 不裝過濾網(wǎng)肯定不行，掉進去的東西不一定要大，但是硬度夠的話會造成損壞，光是刀刃就會有鋸齒， 重將被擊中。 破碎的葉子。 因此，目前的設(shè)備制造商在安裝分子泵時盡量將分子泵呈90度角或倒置安裝，以免異物掉入其中。

  ③電壓不穩(wěn)定，尤其是磁懸浮分子泵。

  ④。 前級泵效率差； 我們知道，腔體中的大部分氣體首先被前級泵抽出，直到真空度達到一定水平，分子泵才會啟動。 如果前級泵效率差，分子泵會比較費力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流大，分子泵溫度升高。

  ⑤。 維護時分子泵的動平衡沒有做好，這是技術(shù)的關(guān)鍵。 動平衡不良導(dǎo)致振動大，泵送效率差，易造成軸承零件過度磨損。

  ⑥。 軸承部分沒有使用原廠標(biāo)準(zhǔn)軸承，效果和尺寸不標(biāo)準(zhǔn)。